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ETD-800
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依據(jù)二極(DC)直流濺射原理。
安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1.主機(jī)規(guī)格:260mm×307mm×260mm(W×D×H) 2.電源規(guī)格:220V/50HZ 3.靶(上部電極):50mm×0.1mm(D×H) 4.靶材:Au 5.真空樣品室: 硼硅酸鹽玻璃 115mm×100mm(D×H) 6.定時(shí)器: 最長(zhǎng)時(shí)間:3600S 7.機(jī)械泵: 1L/S 8.電壓:-1200 |
序號(hào) |
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