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濺射蒸碳儀

產(chǎn)品型號(hào)：

SD-900C

咨詢電話：17696657737

技術(shù)支持：17696657737

產(chǎn)品詳情
設(shè)備視頻

濺射功能依據(jù)二極(DC)直流濺射原理。濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體。根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層均勻純凈。

熱蒸發(fā)功是能通過(guò)對(duì)碳纖維繩加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積與基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝。

l簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)、可靠、外觀精美。

l可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強(qiáng)以控制鍍膜的速率和顆粒的大?。w粒大小約4-20nm）。

lSETPLASMA手動(dòng)啟動(dòng)按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強(qiáng)和濺射電流避免對(duì)膜造成不必要的損傷。

l真空保護(hù)可避免真空過(guò)低造成設(shè)備短路。

l同時(shí)可以通過(guò)更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。

l通過(guò)通入不同的惰性氣體以達(dá)到更純凈的涂層。

l獨(dú)立的濺射、蒸發(fā)上蓋和玻璃腔體防止交叉污染。

l一體機(jī)更加經(jīng)濟(jì)實(shí)惠。

l碳纖維繩更加細(xì)膩均勻、快速，更有利于分析材料結(jié)構(gòu)。

l濺射蒸發(fā)功能轉(zhuǎn)換方便快捷。

安裝條件

主要參數(shù)

1.儀器尺寸：主機(jī) 300mm×360mm×380mm（W×D×H）

2.蒸鍍 300mm×360mm×160mm（W×D×H）

3.真空樣品室：玻璃腔體 160mm×110mm（D×H）

4.靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

5.濺射靶：二極直流濺射靶（標(biāo)配）磁控靶（選配）

6.濺射靶材：Au

7.濺射靶材大?。?phi;50mm

8.樣品臺(tái)：50mm (D)

9.濺射工作電壓：0-1600V (DC)可調(diào)

10.濺射電流：0-50 mA (磁控0-100mA)

11.濺射定時(shí)：0-999S

12.蒸碳電流 0-100A(AC)

13.蒸發(fā)材料：碳纖維

14.蒸發(fā)工作電壓：0-30V

15.蒸發(fā)時(shí)間：0-1S

16.微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

17.可通入氣體：多種

18.真空泵： 2升機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵（國(guó)產(chǎn)VRD-8）

19.速率：0--10nm/min（磁控0—60nm/min）

序號(hào)	名稱	數(shù)量	圖片鏈接
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序號(hào)	名稱	功能類別	圖片鏈接
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