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離子濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)：

SD-900

咨詢(xún)電話(huà)：17696657737

技術(shù)支持：17696657737

產(chǎn)品詳情
設(shè)備視頻

依據(jù)二極(DC)直流濺射原理。濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體。根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層均勻純凈。

l簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)、可靠、外觀精美。

l可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強(qiáng)以控制鍍膜的速率和顆粒的大小，顆粒大小約4-20nm。

lSETPLASMA手動(dòng)啟動(dòng)按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強(qiáng)和濺射電流避免對(duì)膜造成不必要的損傷。

l真空保護(hù)可避免真空過(guò)低造成設(shè)備短路。

l同時(shí)可以通過(guò)更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。

l通過(guò)通入不同的惰性氣體以達(dá)到更純凈的涂層。

安裝條件

主要參數(shù)

1.主機(jī)規(guī)格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

2.靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

3.靶材：Au（標(biāo)配）

4.樣品室：玻璃腔體160mm×120mm（D×H）

5.靶材尺寸：Ф50mm

6.真空度：≤ 4X10-2 mbar

7.電流：50mA

8.定時(shí)器：數(shù)碼計(jì)時(shí)0-999S

9.微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

10.可通入氣體：多種

11.電壓：-1600 DCV

12.機(jī)械泵：標(biāo)準(zhǔn)配置2L/S（國(guó)產(chǎn)VRD-8）

13.速率：0--10nm/min

序號(hào)	名稱(chēng)	數(shù)量	圖片鏈接
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2

序號(hào)	名稱(chēng)	功能類(lèi)別	圖片鏈接
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