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RCM-75D
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安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1. 晶圓尺寸:Up to Ф75mm wafer 2. 腔體尺寸:Ф150mm 3. 轉(zhuǎn)速:≤8000RPM 4. 精度:±1RPM 5. 加速度:≤10000RPM/S 6. 時(shí)間:1-3000S 7. 控制方式:文本顯示 8. 電機(jī)功率:100W 9. 編程:6組6段 10. 尺寸:290mm(W)x 235mm(D) x 185mm(H) 11. 配置:吸盤一套(10mm、25mm、2英寸) 無油真空泵一臺(tái) |
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