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RCM-200T-B
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安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1. 晶圓尺寸：Up to Ф200mm wafer 2. 腔體尺寸：Ф320mm 3. 轉(zhuǎn)速：≤10000RPM 4. 精度：±1RPM 5. 加速度：≤10000RPM/S 6. 時(shí)間：1-999.9S 7. 控制方式：7寸觸屏+PLC 8. 電機(jī)功率：750W 9. 編程：50組20段 10. 尺寸：500mm(W)x 490mm(D) x 320mm(H) 11. 配置:吸盤一套（4、6、8英寸） 無油真空泵一臺(tái) |
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