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安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1. 上料/Load port:手動(dòng) 2. 參數(shù)/Recipe:50 Sets ② 20 Steps per Recipe 3. 尺寸/Substrate Size:Up to 20”方片或異性片 4. 轉(zhuǎn)速/Rotation:10 ~ 2000 rpm 5. 控制系統(tǒng)/Control System:PLC / PC based 6. 加速度:Max. 1,000rpm/sec 7. 轉(zhuǎn)速精度:≤±1rpm 8. 時(shí)間設(shè)定:0 – 10,000 sec 9. 自動(dòng)蓋子:選配 10. 滴膠方式:選配 |
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