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RCM-300F全柜式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)：

RCM-300F

咨詢電話：17696657737

技術(shù)支持：17696657737

產(chǎn)品詳情
設(shè)備視頻

安裝條件

主要參數(shù)

1. 晶圓尺寸：Up to Ф300mm wafer

2. 轉(zhuǎn)速：≤5000RPM

3. 精度：±1RPM

4. 加速度：≤10000RPM/S

5. 時(shí)間：1-999.9S

6. 控制方式：7寸觸屏+PLC

7. 電機(jī)功率：1500W

8. 編程：50組20段

9. 滴膠系統(tǒng)：針筒式滴膠一路（50ml)對(duì)中、背洗、去邊等

10. 配置:吸盤一套（4、6、8英寸）

無油真空泵一臺(tái)

FFU、排風(fēng)、黃光燈等

序號(hào)	名稱	數(shù)量	圖片鏈接
1
2

序號(hào)

名稱

功能類別

圖片鏈接

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