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RCM-800
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安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1. 上料/Load port:手動(dòng) 2. 參數(shù)/Recipe:50 Sets ② 20 Steps per Recipe 3. 尺寸/Substrate Size:Up to 12 4. 轉(zhuǎn)速/Rotation:10 ~ 3000 rpm 5. 控制系統(tǒng)/Control System:PLC / PC based 6. 轉(zhuǎn)速精度:±1rpm 7. 控制系統(tǒng)/Control System:PLC / PC based 8. 管路:三路(顯影液,水,氣) 9. 顯影液溫度控制:Option 10. 機(jī)械擺臂:YES 11. 液位報(bào)警:YES |
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