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RCM-150T-B
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安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1. 晶圓尺寸:Up to Ф150mm wafer 2. 腔體尺寸:Ф280mm 3. 轉(zhuǎn)速:≤10000RPM 4. 精度:±1RPM 5. 加速度:≤10000RPM/S 6. 減速度:≤5000RPM/S 7. 時(shí)間:1-999.9S 8. 控制方式:7寸觸屏+PLC 9. 電機(jī)功率:200W 10. 編程:50組20段 11. 尺寸:470mm(W)x 450mm(D) x 320mm(H) 12. 配置:吸盤一套(2、4、6英寸) 無油真空泵一臺(tái) |
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