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RCM-150D桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機

產(chǎn)品型號：

RCM-150D

咨詢電話：17696657737

技術(shù)支持：17696657737

產(chǎn)品詳情
設(shè)備視頻

安裝條件

主要參數(shù)

1. 晶圓尺寸：Up to Ф150mm wafer

2. 腔體尺寸：Ф220mm

3. 轉(zhuǎn)速：≤10000RPM

4. 精度：±1RPM

5. 加速度：≤10000RPM/S

6. 時間：1-3000S

7. 控制方式：7寸觸屏+PLC

8. 電機功率：150W

9. 編程：20組20段

10. 尺寸：375mm(W)x 300mm(D) x 240mm(H)

11. 配置:吸盤一套（10mm、25mm、2、4英寸）

無油真空泵一臺

序號	名稱	數(shù)量	圖片鏈接
1
2

序號	名稱	功能類別	圖片鏈接
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