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RCM-200T-D
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安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1. 晶圓尺寸:Up to Ф200mm wafer 2. 腔體尺寸:Ф320mm 3. 轉(zhuǎn)速:≤10000RPM 4. 精度:±1RPM 5. 加速度:≤10000RPM/S 6. 時(shí)間:1-999.9S 7. 控制方式:7寸觸屏+PLC 8. 電機(jī)功率:750W 9. 編程:50組20段 10. 滴膠系統(tǒng):針筒式滴膠一路(50ml) 11. 配置:吸盤一套(4、6、8英寸) 無油真空泵一臺 |
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