安裝條件

本設(shè)備要求在海拔2000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地。

2、氣：不需要

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

項目/Item

規(guī)格/Specification

基板承盤

適用基板尺寸: 碎片- 6”

光阻黏度系數(shù):1000cp 以內(nèi)

基本規(guī)格

設(shè)備尺寸：寬470mm*深450mm*高320mm(MSC-150T-B)

設(shè)備尺寸：寬360mm*深410mm*高340mm(MSC-150T-N)

外觀:本體為不銹鋼板,腔體材質(zhì)：pp

排放管路系統(tǒng)置于機臺背部

機臺支腳具高低調(diào)整功能

電控系統(tǒng)

軟件: PLC 可程序自動化控制器

操作接口: Color 5.7＂Touch Screen

PLC 接口整合HMI

制程/維修/警示/編輯/配方，皆可從操作屏幕上修改

可依客戶需求條件撰寫編輯，并可結(jié)合自動存取

儲存能力

記憶模塊30組配方設(shè)定

段數(shù)設(shè)定:每一配方模塊均設(shè)15段數(shù)，每一段數(shù)均可設(shè)定加速度及時間控制

密碼設(shè)定:可依權(quán)限設(shè)定密碼保護

旋轉(zhuǎn)時間設(shè)定：15–10000 sec (PLC 上設(shè)定及顯示)

應(yīng)用程序

人工放置基板->啟動真空吸附->基板吸附于轉(zhuǎn)盤上 ->旋轉(zhuǎn)開啟->低轉(zhuǎn)速->中轉(zhuǎn)速->高轉(zhuǎn)速->旋轉(zhuǎn)停止->破真空->人工取件。

尺寸/ Dimensions  

內(nèi)腔：直徑280mm ,晶圓表面到蓋子直徑：36mm

功能

規(guī)格

盆 罩

材質(zhì) : PP盆罩設(shè)計。

吸 盤

材質(zhì) : 鋁制吸盤陽極硬化處理

吸盤表面平坦度10um 以內(nèi)。

外型: 圓盤型式。

免鍵軸套與 spin motor 主軸間接連結(jié)

數(shù)量: 吸盤2、 4、6 吋一組。

旋轉(zhuǎn)主軸

SUJ-2 軸承鋼 同等級或優(yōu)于設(shè)計級

材質(zhì):此鋼含有高碳(0.95~1.1%)高鉻 (1.3~1.6%)用來做為再三重復(fù)的過重的壓縮及耐沖擊的使用,故具備有耐疲勞性,耐磨耗性,耐熱性等。

馬 達

馬達 : AC Servo Motor。

馬達轉(zhuǎn)速 : Max.10~10000rpm(MSC-150T-B)（帶負載）

馬達轉(zhuǎn)速 : Max.10~6000rpm(MSC-150T-N)（帶負載）

功率：400W

精確度 : ±1rpm

加速度 : Max1,0000rpm/sec（帶負載）

真空幫浦:

無油式真空壓力泵浦, 壹組。

其他：

工程界線

電源及排放光阻等至機臺出口以后部份銜接工程，請買方負責銜接。

廠務(wù)設(shè)施需求

以下為6吋COATER廠務(wù)端所須之條件請買方配合提供。

Voltage (AC): 220V 50/60Hz

設(shè)備交貨、安裝及驗收 

1、交貨地點為買方所在地即____；交貨程序完成前之任何費用（包括但不限于運費、倉儲費）及任何損失概由賣方完全承擔，經(jīng)買方簽署交貨項目內(nèi)容之書面資料，賣方始完成交貨程序。

2、 買方提供其器材及工程：

．碼頭至定位搬運由買方提供。

．全部配電用電纜、開關(guān)及一切達到可試車之各項供電設(shè)備與氣壓設(shè)備等。

．試車所需之材料。

3. 機臺到貨需檢附以下文件：

a.Package list，到貨項目需與列表相符，而列表須與采購合約相同。

b.出廠驗機報告

4. 交貨項目內(nèi)容采電子文件：

．設(shè)備系統(tǒng)本體及其附屬品。

．電力系統(tǒng)接線圖、設(shè)備三視圖、管路圖等相關(guān)圖面。

．操作手冊。

．維修手冊。

．輸入/輸出接點說明圖。

5. 買方需于交機兩周內(nèi)完成廠務(wù)端銜接。

   賣方需于交機四周內(nèi)完成機臺安裝。

6. 機臺驗收以本規(guī)范內(nèi)所標示之項目為依據(jù)，所有項目均需合格。

驗收規(guī)格

1、廠驗相關(guān)規(guī)范

客戶保留工廠測試驗收的權(quán)利，以確定機臺符合以上規(guī)格需求;

客戶有權(quán)利要求機臺必須修正所有與規(guī)格不符合的問題點才能進行交貨.

2、于設(shè)備交機后，若各項機構(gòu)可滿足最終規(guī)格時，應(yīng)于設(shè)備安裝試車完成后，書面通知

買方進行驗收測試日期。有關(guān)各項規(guī)格書未記載事項或特別要求之驗收條件，依雙方共同充份協(xié)商后所同意之方式處理。

設(shè)備保固

1.所有機臺上新增或修改部分，其保固年限于采購合約中明定規(guī)范,需一年。

本設(shè)備、零件保固期為自驗收日起算12個月內(nèi)或交機后15個月內(nèi)。

2.機臺供貨商應(yīng)提供一固定人員作為維修服務(wù)之窗口，并于保固期間提供免費之問題排除。

3.在保固期間，若于設(shè)備之制造不良、過失等引起之故障，概需免費提供修理，更換零件。

4.以下之狀況不屬于保固期內(nèi)：

．由操作人員之過失所造成之損害。

．消耗品(直接接觸式Sensor、其他動作部份等)

．交貨后自行變更控制程序及變更藥液等。

．設(shè)備內(nèi)使用非本公司之生產(chǎn)零件，依制造原廠的規(guī)范處理。

．自行換裝非原規(guī)格產(chǎn)品而造成設(shè)備之損壞。

教育訓(xùn)練及維修服務(wù)

廠商應(yīng)提供完整在廠教育訓(xùn)練

2. 機臺教育訓(xùn)練課程應(yīng)包含以下內(nèi)容：

a.機臺基本操作

b.機臺架構(gòu)介紹

c.機臺運作原理

d.機臺保養(yǎng)及故障排除

3. 賣方須提供買方及直接使用者關(guān)于本設(shè)備之咨詢服務(wù)。

序號

名稱

數(shù)量

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序號

名稱

功能類別

圖片鏈接

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