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安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1. 晶圓尺寸：Up to Ф200mm wafer 2. 溫度范圍：室溫-300℃ 3. 均勻性：≤±1.5% 4. 控溫精度：±0.2℃ 5. 面板材質(zhì)：鋁合金鍍陶瓷 6. 時間：1-9999S 7. 控溫方式：PID 8. 功率：800W 9. 顯影控溫：上位機軟件 10. 面板尺寸:220*220mm 11. 重量:8.5KG 12. 外觀尺寸:370（W)*260（D)*162(H)mm |
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