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KJ8-H-N2
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安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1. 晶圓尺寸:Up to Ф200mm wafer 2. 溫度范圍:室溫-500℃ 3. 均勻性:≤±1.5% 4. 控溫精度:±0.2℃ 5. 面板材質(zhì):高溫不銹鋼 6. 時(shí)間:1-9999S 7. 控溫方式:PID 8. 功率:1500W 9. 顯影控溫:面板或上位機(jī)軟件操作 10. 面板尺寸:220*220mm 11. 重量:22KG 外觀尺寸:加熱臺(tái):340(W)*340(D)*150mm 控制器:300(W)*190(D)*150(H)mm |
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