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KJ-HP8
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安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1. 晶圓尺寸：Up to Ф300mm wafer 2. 溫度范圍：室溫-250℃ 3. 均勻性：≤±2% 4. 控溫精度：±0.2℃ 5. 面板材質(zhì)：陽極氧化鋁 6. 時間：1-3200S 7. 控溫方式：PLC+7寸觸摸屏 8. 功率：3500W 9. 顯影控溫：0-30mm 10. 面板尺寸:220*220mm 11. 重量:50KG 12. 外觀尺寸:553mm (W) x 423mm (D) x 345mm(H) |
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