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安裝條件 |
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主要參數(shù) |
1. 真空腔規(guī)格:316不銹鋼腔體,12寸以下兼容 2. 電極:平板氣浴電極 3. 電源:頻率13.56MHz,功率可調(diào) 4. 真空系統(tǒng):極限真空度10 -1Pa 5. 氣路系統(tǒng):標(biāo)準(zhǔn)配置2路,精密玻璃轉(zhuǎn)子流量計30~300ml 6. 控制方式:7寸工業(yè)觸摸顯示屏,手動和自動兩種控制方式 7. 時間設(shè)置:0-99.99min 8. 工作氣體:空氣、氬氣、氮氣或混合氣體 9. 整機(jī)重量:40Kg 10. 備注:可按客戶需求定制設(shè)計 11. 可按客戶需求定制設(shè)計:單相真空泵和取片器 12. 是否定制:YSE |
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